中微公司（688012）研发经费合规指数（ZRCI）测评报告
一、企业基本信息
企业名称：中微半导体设备(上海)股份有限公司
股票代码：688012
板块：科创板
高新技术企业 ：是
行业：制造业/专用设备制造业
上市日期：2019-07-22
实际控制人：尹志尧
主要产品及用途：
公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司瞄准世界科技前沿，基于在半导体设备制造产业多年积累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED 外延片生产、功率器件、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备领域。中微公司开发的 CCP 高能等离子体和 ICP 低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从 65 纳米到 3 纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如 LPCVD、ALD、EPI 设备等，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于 LED 和功率器件外延片生产的 MOCVD 设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD 设备市场占据领先地位。此外，中微公司已全面布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。
经营模式：
1、盈利模式
公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，通过向下游集成电路、LED 外延片、先进封装、MEMS 等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备、薄膜设备和 MOCVD 设备、提供配件及服务实现收入和利润。报告期内，公司主营业务收入来源于半导体设备产品的销售，其他收入来源于设备相关配件销售及设备支持服务等。
2、研发模式
公司主要采取自主研发的模式。根据公司产品成熟度，公司的研发流程主要包括概念与可行性阶段、Alpha 阶段、Beta 阶段、量产阶段。公司按照刻蚀设备、薄膜设备、MOCVD 设备等不同研发对象和项目产品，组成了相对独立的研发团队。不同产品研发团队拥有各自独立的机械设计、工艺开发、产品管理和技术支持团队，而在电气工程、平台工程、软件工程等方面则采用共享的方式进行研发支持。通过这种矩阵管理的方法，实现了人才、营运等资源在不同的产品及技术服务之间灵活分配，实现共享经验知识，优化资源使用效率，使公司能够快速响应不断变化的研发要求，进行持续的技术创新。
3、采购模式
为保证公司产品的质量和性能，公司制定了严格的供应商选择和审核制度。达到经营资质、研发和设计能力、技术水平、质量管控能力、生产能力、产品价格、交货周期及付款周期等众多标准要求的供应商，才可以被考虑纳入公司合格供应商名录，并定期审核。目前，公司已经与全球众多供应商建立了长期、稳定的合作关系。
4、生产模式
公司主要采用以销定产的生产模式，实行订单式生产为主，结合少量库存式生产为辅的生产方式。订单式生产是指公司在与客户签订订单后，根据订单情况进行定制化设计及生产制造，以应对客户的差异化需求。库存式生产是指公司对设备通用组件或成批量出货设备常用组件根据内部需求及生产计划进行预生产，主要为快速响应交期及平衡产能。
5、营销及销售模式
公司采取直销为主的销售模式，因欧洲市场的客户较为分散，公司在该区域通过代理商模式进行销售。公司设有全球业务部负责公司所有产品的销售管理，下设中国大陆、中国台湾、韩国、日本、新加坡、美国等国家或地区的销售和支持部门。
（数据来源：年报“公司简介”及“股东情况”）
二、研究经费历年数据（2022-2025）
年度 | 研发费用（万元） | 营业收入（万元） | 研发费用率 | 资本化金额（万元） | 资本化率 |
2022 | 60,500 | 473,900 | 12.77% | 15,416.48 | 16.60% |
2023 | 81,700 | 626,400 | 13.04% | 38,091.48 | 30.18% |
2024 | 141,800 | 906,500 | 15.64% | 88,010.04 | 35.89% |
2025 | 247,500 | 1,238,500 | 19.98% | 约104,500 | 27.92% |
注：
研发费用 = 年报“研发投入”中“费用化研发投入”+“资本化研发投入”
研发费用率 = 研发费用 / 营业收入
资本化率 = 资本化金额 / 研发费用
（数据来源：年报“研发投入”及“利润表”）
三、研发人员情况（2022-2025年）
年度 | 研发人员数量（人） | 员工总数（人） | 研发人员占比 |
2022 | 592 | 1,379 | 42.93% |
2023 | 788 | 1,722 | 45.76% |
2024 | 1,190 | 2,480 | 47.98% |
2025 | 1,548 | 2,963 | 52.24% |
（数据来源：年报“员工情况”及“研发人员情况”）
四、募资与净资产对比（已上市）
指标 | 数值 | 数据来源 |
IPO募资净额 | 14.46亿元 | 2019年7月科创板上市，募集资金总额15.52亿元，扣除发行费用1.06亿元后，实际募集资金净额为144,570.28万元（14.46亿元） |
2019年末净资产 | 37.51亿元 | 2019年度业绩快报及年报：归属于母公司所有者权益375,107.70万元（37.51亿元） |
最近一次定增募资净额（2022年） | 81.18亿元 | 2021年获证监会批复，2022年落地：向特定对象发行8,022.93万股，发行价102.29元/股，募集资金总额82.07亿元，扣除发行费用后实际募集资金净额为811,816.24万元（81.18亿元） |
2025年末归属于母公司所有者权益（净资产） | 226.95亿元 | 2025年度业绩快报：归属于上市公司股东的净资产为2,269,461.68万元（226.95亿元） |
累计募资 / 2025年末净资产 | 约0.42倍 | （IPO净额14.46亿 + 2022年定增净额81.18亿）÷ 2025年末净资产226.95亿 ≈ 0.42 |
2022年定增募资 / 2025年末净资产 | 约0.36倍 | 定增净额81.18亿 ÷ 2025年末净资产226.95亿 ≈ 0.36 |
五、风险标注（自动生成）
指标 | 当前值 | 风险等级 | 判断依据 |
研发费用率 | 19.98% | 中低 | 2025年费用化研发费用24.75亿元，占营收123.85亿元的19.98%。费用率从2022年的12.77%持续攀升至19.98%，四年提高约7.2个百分点，主要驱动力是费用化研发费用增速（2025年+74.61% ）远超营收增速（+36.62% ）。在半导体设备行业中，20%左右的费用化研发费率属于高位但并非异常——若以研发投入合计口径衡量，2025年投入强度达到30.23%，远高于科创板均值。费用率上行的“代价”是短期利润承压，但与其产品平台化扩张阶段相匹配，尚未进入需要警惕的区间。 |
资本化率 | 27.92% | 中 | 2025年研发投入合计37.44亿元，资本化金额10.45亿元，资本化率27.92%。资本化率并非孤立偏高：2022—2024年从16.60%升至35.89%，2025年虽回落至27.92%，但仍处于30%附近的高位区间。在A股半导体设备收入前五的公司中，有4家资本化率超过20%，中微的27.92%仅次于北方华创的34.50%。审计报告已将“开发支出资本化”列为关键审计事项，这意味着审计师识别出该领域存在较高的判断空间和潜在错报风险。第三方测算显示，若不进行资本化处理，中微公司2025年归母净利润将从21.11亿元降至10亿元左右，降幅约53%。资本化对利润的实质性“托举”效应，使其风险等级不能像澜起科技的0%资本化那样归为“低”，而应给予中等评级：幅度可控但需持续跟踪，且已被审计师重点标注。 |
研发人员占比 | 52.24% | 低 | 2025年末研发人员1,548人，员工总数约2,963人，占比52.24%，首次突破半数。2022—2025年占比从42.90%持续提升至52.24%，四年提高约9.3个百分点，无一年回落。研发人员中硕博占比超过50%，在半导体设备头部企业中属于普遍水平，与公司“硬件+工艺”双密集的行业属性一致。研发人员占比过半的结构，在设备类公司中处于正常偏高水平，人员储备与投入强度相互匹配，不构成独立风险信号。 |
研发费用趋势 | 连续加速上升 | 低（但含结构性提示） | 2025年末研发人员1,548人，员工总数约2,963人，占比52.24%，首次突破半数。2022—2025年占比从42.90%持续提升至52.24%，四年提高约9.3个百分点，无一年回落。研发人员中硕博占比超过50%，在半导体设备头部企业中属于普遍水平，与公司“硬件+工艺”双密集的行业属性一致。研发人员占比过半的结构，在设备类公司中处于正常偏高水平，人员储备与投入强度相互匹配，不构成独立风险信号。 |
说明： 风险等级由系统根据预设阈值自动生成，仅供参考。
六、数据来源
年度报告（2022、2023、2024、2025）
上市公告书（如适用）
财务报表附注
七、更新记录
2026-10-29：首次录入2022-2025年数据
2027-04-15：新增2026年年报数据
（后续每年4月30日前更新上一年度数据）
八、专知智库研发经费合规指数（ZRCI）评分：
ZRCI 由 6 个维度加权计算，总分 100 分。
维度 | 权重 | 数据来源 |
研发费用率水平 | 25% | 年报“研发投入”与“利润表” |
研发费用增长趋势 | 20% | 近三年年报研发费用 |
资本化率 | 20% | 年报“研发投入”资本化金额 |
研发人员占比 | 15% | 年报“员工情况” |
募资/净资产匹配度 | 10% | 年报“募集资金”与“资产负债表” |
研发费用绝对值 | 10% | 年报“研发投入” |
中微公司=100×0.25 + 100×0.20 +40×0.20 +100×0.15 + 90×0.10 +80×0.10=85分
九、等级划分
等级 | 总分 | 含义 |
A+ | 90 ~ 100 | 合规卓越 |
A | 80 ~ 89 | 合规优秀 |
B+ | 70 ~ 79 | 合规良好 |
B | 60 ~ 69 | 基本合规 |
C | 50 ~ 59 | 存在风险 |
D | < 50 | 高风险 |
属于A级【合规优秀】
十、咨询入口
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