电子气体 丙烯
电子气体 丙烯Electronic gas—Propylene国家标准项目 修订 推荐性国家标准项目《电子气体 丙烯》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化
泛半导体行业用氨气处理技术导则
泛半导体行业用氨气处理技术导则Technical guideline for ammonia exhaust gas treatment in the pan
电子气体 硒化氢
电子气体 硒化氢Electronic gas—Hydrogen selenide国家标准项目 修订 推荐性国家标准项目《电子气体 硒化氢》由 TC203（全国半
半导体制造用气体处理技术导则
半导体制造用气体处理技术导则Technical Guidelines for Treatment of Gaseous Effluent in Semicond
电子气体 硅烷
电子气体 硅烷Electronic gas-Silane国家标准项目 修订 推荐性国家标准项目《电子气体 硅烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委
电子气体 六氟乙烷
电子气体 六氟乙烷Electronic gas—Hexafluoroethane国家标准项目 修订 推荐性国家标准项目《电子气体 六氟乙烷》由 TC203（全国
电子气体 三氟甲烷
电子气体 三氟甲烷Electronic gas—Trifluoromethane国家标准项目 修订 推荐性国家标准项目《电子气体 三氟甲烷》由 TC203（全国
有毒与可燃性气体检测系统安全评价技术导则
有毒与可燃性气体检测系统安全评价技术导则Technical guideline for Safety Evaluation of Toxic and Flamm
工业无线网络（WIA）规范 第2部分：用于工厂自动化的WIA系统结构与通信
工业无线网络（WIA）规范 第2部分：用于工厂自动化的WIA系统结构与通信Industrial wireless networks WIA specificat
高压直流输电用多源换相换流阀
高压直流输电用多源换相换流阀Multi-sources line commutated converter valve for HVDC power trans
工业控制系统组态开发平台 第2部分：功能要求
工业控制系统组态开发平台 第2部分：功能要求Configuration platform software for industrial control sys
柔性直流输电换流阀用均压电阻器
柔性直流输电换流阀用均压电阻器Equalizing resistor of converter valve for VSC-HVDC power transmi
柔性直流输电换流阀用均压电阻器
柔性直流输电换流阀用均压电阻器Equalizing resistor of converter valve for VSC-HVDC power transmi
自动化系统与集成 运动控制器 第2部分：通用技术要求
自动化系统与集成 运动控制器 第2部分：通用技术要求Automation Systems and Integration—Motion Controller P
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第1部分：总体架构
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第1部分：总体架构Automation systems and integration Autonomo
自动化系统与集成 运动控制器 第4部分：测试方法
自动化系统与集成 运动控制器 第4部分：测试方法Automation Systems and Integration—Motion Controller Par
自动化系统与集成 运动控制器 第3部分：应用编程接口
自动化系统与集成 运动控制器 第3部分：应用编程接口Automation Systems and Integration—Motion Controller P
自动化系统与集成 运动控制器 第1部分：体系架构
自动化系统与集成 运动控制器 第1部分：体系架构Automation Systems and Integration—Motion Controller Par
自动化系统与集成 工业控制器 测评指标体系
自动化系统与集成 工业控制器 测评指标体系Automation systems and integration — Industrial controllers
工业控制系统组态开发平台 第5部分：测评要求
工业控制系统组态开发平台 第5部分：测评要求Configuration platform software for industrial control sys
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第2部分：功能性要求
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第2部分：功能性要求Automation systems and integration Autonom
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第3部分：安全性要求
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第3部分：安全性要求Automation systems and integration Autonom
工业控制系统组态开发平台 第4部分：智能体要求
工业控制系统组态开发平台 第4部分：智能体要求Configuration platform software for industrial control sy
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第4部分：评价方法
自动化系统与集成 流程制造业生产过程自主优化运行智能体 第4部分：评价方法Automation systems and integration Autonomo
工业控制系统组态开发平台 第6部分：使用导则
工业控制系统组态开发平台 第6部分：使用导则Configuration platform software for industrial control sys
计算机辅助工程（CAE）软件 第1部分：通用要求
计算机辅助工程（CAE）软件 第1部分：通用要求Computer aided engineering (CAE) software—Part 1: Genera
计算机辅助工程（CAE）软件 第2部分：数据与模型描述
计算机辅助工程（CAE）软件 第2部分：数据与模型描述Computer aided engineering (CAE) software—Part 2: Dat
智能计算机辅助设计软件 第3部分：设计资源库
智能计算机辅助设计软件 第3部分：设计资源库Intelligent Computer-Aided Design Software - Part 3: Desig
智能计算机辅助设计软件 第2部分：数据接口
智能计算机辅助设计软件 第2部分：数据接口Intelligent Computer-Aided Design Software - Part 2: Data I
工业控制系统组态开发平台 第1部分：系统架构
工业控制系统组态开发平台 第1部分：系统架构Configuration platform software for industrial control sys
